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PL熒光光譜測量應用案例
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晶片厚度及翹曲度測量設備應用案例
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自動晶片激光打標機
通過機械手搬運晶片,用特定激光器在晶片指定位置打標,實現(xiàn)對晶片的自動標記??蓪崿F(xiàn)軟打標和硬打標??纱驑税雽w材料覆蓋:、Si、SiC、GaAs、InP、Al2O3(藍寶石)、Ge等材料。
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